> ¿¬±¸°³¹ß > Spin-on Dielectric Materials for SiO2
¿ëµµ¿¡ µû¶ó ½ºÇÉ ÄÚÆÃ, ½½¸´ ÄÚÆÃ, ½ºÇÁ·¹ÀÌ ÄÚÆÃ µîÀÇ ¿©·¯ ÄÚÆÃ ¹æ¹ý°ú °í¿Â °æÈ, »ó¿Â °æÈ, Àڿܼ± °æÈ µî ¿©·¯ °¡Áö °æÈ ¹æ¹ýÀ» Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ¹Û¿¡µµ À¯¹«±â º¹ÇÕÀç·á µî ´Ù¾çÇÑ °í±â´É ÄÚÆÃ Àç·á¸¦ ¿¬±¸Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.