그 이후 지속적으로 DRAM, 플래시 메모리, 로직 반도체의 유전막, 전극, 배선 금속으로 쓰일 수 있는
차세대 ALD/CVD 전구체를 개발해 왔습니다. 개발한 전구체를 국내, 국외 여러 반도체 소자 업체,
장비 업체와 함께 평가했고, 일부는 이미 반도체 소자 양산에 사용 중입니다.
유피케미칼의 연구원들은 반도체 생산에 필요한 화합물을 설계 및 합성하고, 이를 ALD/CVD처럼 고객이
사용하는 조건에 적용해서 성막 특성, 형성된 막의 전기적 특성 등을 평가하고, 특성이 우수한 화합물을
양산 공급하기 위해 제조 공정을 개발합니다.
유피케미칼은 미래 사회에 필요한 반도체, 디스플레이 소자 생산에 필요한 전자 재료를 공급하기 위한
연구 개발을 계속할 것입니다.
ALD/CVD 재료 개발
제조공정 최적화 및 양산기술 개발
박막 장치를 이용한
공정기술 개발 및 재료 평가
공정 수율 개선용 화학 소재 개발
출원 0건
등록 0건
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유피케미칼 기술연구소는 다양한 기업, 연구 기관, 대학 등과 협력하여 공동 연구를 수행하고 있으며, 이를 통해 각자의 전문성을 활용하고
연구 결과, 기술, 시장 동향 등의 정보 자원을 공유하여 연구 및 개발의 효율성을 극대화하며 혁신을 가속화하는 데 중요한 역할을 할 것입니다.
ALD Precursor 공급
ALD 공정 개발
ALD Precursor 공급
Precursor 평가 및 ALD 공정 개발
ALD Precursor 공급
Process Chemical 공급
ALD Precursor 공급