연구소 소개

연구소 소개

유피케미칼은 DRAM 고유전율 박막 형성에 쓰이는
ALD 전구체를 세계 최초로 개발
하고
양산 공급하여 반도체 재료 사업을 시작하였습니다.

그 이후 지속적으로 DRAM, 플래시 메모리, 로직 반도체의 유전막, 전극, 배선 금속으로 쓰일 수 있는
차세대 ALD/CVD 전구체를 개발해 왔습니다. 개발한 전구체를 국내, 국외 여러 반도체 소자 업체,
장비 업체와 함께 평가했고, 일부는 이미 반도체 소자 양산에 사용 중입니다.

유피케미칼의 연구원들은 반도체 생산에 필요한 화합물을 설계 및 합성하고, 이를 ALD/CVD처럼 고객이
사용하는 조건에 적용해서 성막 특성, 형성된 막의 전기적 특성 등을 평가하고, 특성이 우수한 화합물을
양산 공급하기 위해 제조 공정을 개발합니다.

유피케미칼은 미래 사회에 필요한 반도체, 디스플레이 소자 생산에 필요한 전자 재료를 공급하기 위한
연구 개발을 계속할 것입니다.

연구 개발 분야

  • 01

    반도체용 소재

    ALD/CVD 재료 개발

     
  • 02

    소재 양산기술

    제조공정 최적화 및 양산기술 개발

     
  • 03

    박막 공정기술

    박막 장치를 이용한
    공정기술 개발 및 재료 평가

     
  • 04

    프로세스 케미칼

    공정 수율 개선용 화학 소재 개발

     

연구 개발 성과

특허보유(등록)현황 * 24년 8월 기준

국내

출원 0

등록 0

해외

출원 0

등록 0

2024

  • 국내 5건의 특허 출원 중

2023

  • 등록번호 : 10-2574475 4족 금속 원소-함유 전구체 화합물을 포함하는 막 증착용 조성물, 및 이를 이용한 막 형성 방법

2022

  • 등록번호 : 10-2489662 루테늄 전구체 조성물, 이의 제조방법, 및 이를 이용한 루테늄-함유 막의 형성 방법
  • 등록번호 : 10-2537665 실리콘-함유 막의 형성 방법 및 이에 의해 형성된 실리콘-함유 막

2021

  • 등록번호 : 10-2623692 하프늄 전구체 화합물, 이를 포함하는 하프늄 함유 막 형성용 조성물 및 하프늄-함유 막 형성 방법
  • 등록번호 : 10-2513301 실리콘-함유 막 형성용 전구체 조성물 및 이를 이용한 실리콘-함유 막의 형성 방법
  • 등록번호 : 10-2491073 실리콘-함유 막 형성용 전구체 조성물 및 이를 이용한 실리콘-함유 막의 형성 방법
  • 등록번호 : 10-2653042 몰리브데늄 0가 전구체 화합물, 이의 제조방법, 및 이를 이용한 몰리브데늄-함유 박막의 증착 방법

2020

  • 등록번호 : 10-2595199 니오븀 전구체 화합물, 이를 포함하는 막 형성용 전구체 조성물, 및 니오븀-함유 막 형성 방법

2019

  • 등록번호 : 10-2308644 실리콘 전구체 화합물 및 제조 방법, 이를 이용한 실리콘 함유 산화 박막 또는 질화 박막의 증착 방법
  • 등록번호 : 10-2446629 이트륨/란탄족 금속 전구체 화합물, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 막 형성용 조성물 및 이를 이용한 이트륨/란탄족 금속 함유 막의 증착 방법

2018

  • 등록번호 : 10-2471126 4족 금속 원소-함유 화합물, 이의 제조 방법, 이를 포함하는 막 증착용 전구체 조성물 및 이를 이용하는 막의 증착 방법
  • 등록번호 : 10-2509744 알루미늄 화합물 및 이를 사용한 알루미늄-함유 막의 형성 방법

R&D Network

유피케미칼 기술연구소는 다양한 기업, 연구 기관, 대학 등과 협력하여 공동 연구를 수행하고 있으며, 이를 통해 각자의 전문성을 활용하고
연구 결과, 기술, 시장 동향 등의 정보 자원을 공유하여 연구 및 개발의 효율성을 극대화하며 혁신을 가속화하는 데 중요한 역할을 할 것입니다.

R&D NetworkR&D Network
국내 반도체 소자 업체

국내 반도체 소자 업체

ALD Precursor 공급

해외 반도체 소자 업체

해외 반도체 소자 업체

ALD 공정 개발

해외 반도체 장비 업체

해외 반도체 장비 업체

ALD Precursor 공급

국내/외 ALD 학회 후원

국내/외 ALD 학회 후원

대학교산학 협력

대학교 산학 협력

Precursor 평가 및 ALD 공정 개발

국내 디스플레이 업체

국내 디스플레이 업체

ALD Precursor 공급

반도체 소자 및 장비 업체

반도체 소자 및 장비 업체

Process Chemical 공급

국내반도체장비 업체

국내 반도체 장비 업체

ALD Precursor 공급

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